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    VOCs廢氣處理半導體工藝。

    文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2021-09-02 10:29【

    隨著科技的不斷發展,大氣污染也不斷增加,那么在廢氣處理中,VOCs將越來越多人加以重視,那么,就讓正州環保來認識一下這個環保新寵吧。

     

    半導體行業作為一個高科技行業,往往被誤解為清潔行業。但實際上,半導體生產過程中使用了大量的有機物和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境造成了嚴重的危害。如果廢氣尾氣廢氣處理設備得到控制,就會造成很大的環境污染。

     

    VOCs廢氣處理半導體工藝。

     VOCs

    半導體行業的有機廢氣主要來源于清洗、均膠、去膠、刻蝕和顯影工藝,其中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑含有大量的有機成分,主要成分是異丙醇、光刻膠等有機成分。在工藝過程中,這些有機溶劑大多揮發成廢氣排放。

     

    揮發性有機氣體(VolatileOrganiccompound),簡稱VOCs,由于VOCs具有滲透、脂溶、揮發等功能,對人體有很大的直接影響,人體與VOCs接觸或通過呼吸進入人體,可能對人體的呼吸道、肺、神經系統、腎臟等造成危害,因此務必經過處理后才能直接排入大氣。

     

    目前,這種氣體排放一般采用吸附、焚燒或兩者結合的處理方法。吸附式尾氣處理設備LocalScrubber首先對有機溶劑廢氣進行吸附處理,然后進入處理系統centralscrubber進行二次處理,然后排入大氣。

     

    吸附是利用多孔固體吸附劑處理混合氣體,使其中所含的一種或多種成分吸附在固體表面,達到分離的目的。吸附劑選擇性高,可以分離其他過程中難以分離的混合物,有效去除(或回收)濃度低的有害物質,凈化效率高,設備簡單,操作方便,自動控制。

    吸附式尾氣處理設備WFS-100A可處理氣體。

     

    上述,是對半導體工藝中有機溶劑(VOCs)尾氣及尾氣處理設備的簡單介紹,謝謝閱讀!

     

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    此文關鍵字:VOCs

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